默克专利申请抗蚀剂相关专利,提供抗蚀剂相关方法:专利申请

金融界2025年5月2日消息,国家知识产权局信息显示,默克专利有限公司申请一项名为“抗蚀剂组合物、制造抗蚀剂膜的方法以及制造器件的方法”的专利,公开号CN119907949A,申请日期为2023年9月专利申请

专利摘要显示,提供了一种抗蚀剂组合物、制造抗蚀剂膜的方法以及制造器件的方法专利申请

来源:金融界

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